[发明专利]一种高质量氮化物紫外发光结构的生长方法有效
| 申请号： | 202111179627.4 | 申请日： | 2021-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN113921664B | 公开（公告）日： | 2023-01-06 |
| 发明（设计）人： | 王新强;李泰;刘上锋;袁冶;康俊杰;罗巍 | 申请（专利权）人： | 松山湖材料实验室 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/06;H01L33/12;C30B25/18;C30B29/40 |
| 代理公司： | 东莞市奥丰知识产权代理事务所(普通合伙) 44424 | 代理人： | 周文 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明提供一种高质量氮化物紫外发光结构的生长方法，包括以下步骤：步骤S1、制备微柱型衬底；步骤S2、将微柱型衬底放置在MOCVD设备中，并进行升温，升温至1100℃～1200℃时，使用H |
||
| 搜索关键词： | 一种 质量 氮化物 紫外 发光 结构 生长 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于松山湖材料实验室，未经松山湖材料实验室许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111179627.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种聚丙烯薄膜制造工艺
- 下一篇：一种智能视频运维管理系统及管理方法
