[发明专利]一种高效缓蚀剂及其制备方法在审
| 申请号： | 202111178030.8 | 申请日： | 2021-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN113789516A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 顾吉;吴伟卫;顾富良;杨丽萍 | 申请（专利权）人： | 江苏科创石化有限公司 |
| 主分类号： | C23F11/14 | 分类号： | C23F11/14;C23F15/00;C23C22/62 |
| 代理公司： | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人： | 邢贤冬;徐冬涛 |
| 地址： | 214204 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种高效缓蚀剂，它是由多元有机胺、高分子成膜剂、防腐剂和水为原料制成的；其中，所述的多元有机胺、高分子成膜剂、防腐剂和水的质量比1:(0.5～1):(1～1.5):(1～2)；所述的高分子成膜剂为式Ⅰ所示的咪唑啉酰胺，R选自C |
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| 搜索关键词： | 一种 高效 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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