[发明专利]深紫外阵列互联micro-LED及其制备方法

摘要

本发明公开了一种深紫外阵列互联micro‑LED及其制备方法，本发明采用微米台面降低了紫外光在LED结构中的吸收损耗，覆盖在微米台面阵列上方的金属增强了紫外光线的在电极处的反射，以使大部分的出射光从倒装结构的背面出射，从而大幅度提高了该深紫外LED结构中紫外光的光提取效率，降低了电极的发热，同时微米台面提高了有源区中载流子的注入密度，提高日盲通讯中的调制带宽和传输速率，高亮度则有助于提高信号传输过程中的信噪比和抗干扰能力，以及延长了传输距离。本发明深紫外阵列互联micro‑LED的制备方法灵活性强，兼容现有半导体工艺，有利于改善器件性能，实现批量生产。