[发明专利]等离子体诊断电路及方法在审
| 申请号： | 202111154274.2 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114071848A | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 贾兴中;李亚政;卫冠荣;杜志美;曹飞;樊瑞瑞;张岩 | 申请（专利权）人： | 太原市华纳方盛科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/00 | 分类号： | H05H1/00 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 李柏柏 |
| 地址： | 030000 山西省太原*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种等离子体诊断电路及方法，电路包括三角波驱动模块和信号调整模块，三角波驱动模块用于产生三角波信号，并将所述三角波信号放大后输出，从输出回路中采集电压调整信号和至少两组电流取样信号；信号调整模块用于将电压调整信号和至少两组电流取样信号进行信号处理，将其转换为电压信号隔离输出。本发明采用三角波信号进行大功率驱动，极大程度的提高了等离子体诊断的范围，同时采用电流双量程采样，电流分辨力更高，提高了测量精度，而且采用隔离输出的方式将电压监测信号地与三角波输出信号地隔离，增加了测量的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 诊断 电路 方法 | ||
【主权项】：
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