[发明专利]用于声表面波器件的复合衬底及制造方法、声表面波器件有效
| 申请号： | 202111150737.8 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN113872557B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 王阳;吴洋洋;曹庭松;陆彬 | 申请（专利权）人： | 北京超材信息科技有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/145;H03H3/10 |
| 代理公司： | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人： | 孙宝海;袁礼君 |
| 地址： | 102600 北京市大*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种用于声表面波器件的复合衬底，压电薄膜，压电薄膜为单晶薄膜；基底，具有在基底厚度方向上相对的第一侧和第二侧，基底传播的体波声速高于压电薄膜传输的声表面波声速；氧化层，氧化层设置在所述基底与压电薄膜之间，氧化层为多晶薄膜，氧化层传播的体波声速低于压电薄膜传播的声表面波声速，氧化层具有大于零的频率温度系数，氧化层的厚度为30nm以上。由此，能够不易产生翘曲，降低插入损耗、提高温度稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 表面波 器件 复合 衬底 制造 方法 | ||
【主权项】：
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