[发明专利]一种静电卡盘封胶装置有效
| 申请号： | 202111147565.9 | 申请日： | 2021-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN114082593B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 石锗元;李君;陈茂雄;肖伟 | 申请（专利权）人： | 君原电子科技（海宁）有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C13/02 |
| 代理公司： | 深圳国联专利代理事务所(特殊普通合伙) 44465 | 代理人： | 张锋 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种静电卡盘封胶装置，属于静电卡盘技术领域，包括机架，机架上设有第一夹持组件、第二夹持组件、第一支撑组件、第二支撑组件和封胶组件，第一夹持组件包括第一轴承座，第一轴承座上设有第一转轴，第一转轴上套设有第一转盘，第二夹持组件包括第二轴承座，第二轴承座与机架滑动连接，第二轴承座上设有第二转轴，第二转轴上套设有第二转盘，第二转轴的轴线与第一转轴的轴线重合，第一转轴的轴线与地面平行，第一支撑组件包括第三轴承座和第一电机，第三轴承座与机架通过第一伸缩杆连接，第三轴承座上安装有第三转轴，第三转轴上套设有第三转盘，第三转轴远离第三转盘的一端与第一电机的动力输出端连接。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 静电 卡盘 装置 | ||
【主权项】：
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