[发明专利]一种光刻胶用树脂及其制备方法在审
| 申请号： | 202111146001.3 | 申请日： | 2021-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN113717308A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 朱晓群;聂俊 | 申请（专利权）人： | 江苏集萃光敏电子材料研究所有限公司 |
| 主分类号： | C08F212/08 | 分类号： | C08F212/08;C08F212/14;C08F220/18;C08F220/20;G03F7/004 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 214213 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于光刻胶制备技术领域，具体涉及一种光刻胶用树脂及其制备方法。采用苯乙烯、对苯乙烯烷基醇或对苯乙烯烷基羧酸或对苯乙烯酯类化合物和甲基丙烯酸酯为聚合单体，通过自由基聚合反应，制备得到所述光刻胶用树脂。且所述聚合单体中苯乙烯的摩尔分数为20％～50％，所述聚合单体中对苯乙烯烷基醇或对苯乙烯烷基羧酸或对苯乙烯酯类化合物的摩尔分数为10％～60％，所述聚合单体中甲基丙烯酸酯的摩尔分数为10％～40％。本发明制备工艺简单，步骤简化，聚合反应容易控制，制备的光刻胶用树脂批次稳定性好，性能可满足光刻胶的应用需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 树脂 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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