[发明专利]气体传感器、使用其的集成电路器件及其制造方法在审
| 申请号： | 202111142749.6 | 申请日： | 2015-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN113884539A | 公开（公告）日： | 2022-01-04 |
| 发明（设计）人： | 郑钧文;朱家骅;赖飞龙;林详淇 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 | 代理人： | 章社杲;李伟 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： |
本发明提供一种气体传感器，包括衬底、加热器、介电层、感测电极和气体敏感膜。衬底具有感测区域和围绕感测区域的周围区域，并且衬底还具有设置在感测区域中的开口。将加热器设置为至少位于开口上面，并且加热器的电阻率约大于6×10 |
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| 搜索关键词： | 气体 传感器 使用 集成电路 器件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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