[发明专利]一种分离回收砂浆中砷化镓的方法有效
| 申请号： | 202111124383.X | 申请日： | 2021-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN113896238B | 公开（公告）日： | 2023-06-09 |
| 发明（设计）人： | 彭杰 | 申请（专利权）人： | 威科赛乐微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C01G28/00 | 分类号： | C01G28/00;C01B32/956 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 黄宗波 |
| 地址： | 404000 重庆市*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，涉及晶片制造技术领域。本发明的一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，所述方法是将废弃砂浆进行沉淀分离得到切削油和固体混合物，再将混合固体用混合酸液处理分离得到碳化硅和含镓溶液，最后将含镓溶液进行还原得到砷化镓固体。本发明公开了一种分离回收砂浆中砷化镓的方法，利用砷化镓和氮化硅之间物理性质的差异进行分离回收，分离彻底，便于再次生产利用，能够有效降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 分离 回收 砂浆 中砷化镓 方法 | ||
【主权项】：
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