[发明专利]一种隧道扫描显微镜在审
| 申请号： | 202111107241.2 | 申请日： | 2021-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN113834953A | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 王筑成 | 申请（专利权）人： | 江苏筑美科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/10 | 分类号： | G01Q60/10;G01Q60/16 |
| 代理公司： | 东台金诚石专利代理事务所(特殊普通合伙) 32482 | 代理人： | 刘登科 |
| 地址： | 224200 江苏省盐城市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种隧道扫描显微镜，镜体为中空结构，镜体一端与底座连接，镜体内设置有惯性马达，惯性马达包括平行设置的两个压电管，两个压电管一端固定在底座上，两个压电管另一端设有滑轨，两个压电管与滑轨间设有绝缘片，滑轨内部第一滑块，第一滑块上设有圆柱，扫描头包括两端中空的第二滑块，第二滑块内部设有扫描管，扫描管两端固定在第二滑块内，扫描管与探针通过针托连接，第二滑块底部设有圆槽，圆槽与第一滑块上的圆柱相配合，滑块外侧两侧面设有凸台，凸台与沟槽一面连接，沟槽另一面与样品台接触。由于惯性马达和扫描头是分离的，探针到样品的机械回路变得很小，从而更加有利于隧道结的稳定，可以适用于各种极端条件。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 隧道 扫描 显微镜 | ||
【主权项】：
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