[发明专利]一种考虑温度影响的压阻式压力传感器设计方法在审
| 申请号： | 202111078457.0 | 申请日： | 2021-09-15 |
| 公开（公告）号： | CN114004038A | 公开（公告）日： | 2022-02-01 |
| 发明（设计）人： | 郝文昌;郝玉涛;韩东祥;杨健;许姣;赵广宏;尹玉刚 | 申请（专利权）人： | 北京遥测技术研究所;航天长征火箭技术有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/17 | 分类号： | G06F30/17;G06F30/23;G01L9/06;G06F111/10;G06F119/08;G06F119/14 |
| 代理公司： | 北京巨弘知识产权代理事务所(普通合伙) 11673 | 代理人： | 张婧 |
| 地址： | 100076 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种考虑温度影响的压阻式压力传感器设计方法，引入压敏电阻的热零点漂移和热灵敏度漂移进行全温区性能分析，便于进行后续有效温度补偿；热零点漂移和热灵敏度漂移的获得方法为：通过将不同掺杂浓度下电阻率与温度的变化关系、不同掺杂浓度下压阻系数与温度的变化关系输入至有限元软件COMSOL中构建的压阻式压力传感器结构模型中，解算得到静态输出特性曲线和温度漂移特性曲线，并最终得到热零点漂移和热灵敏度漂移。本发明是为了解决压阻式压力传感器设计方法的缺陷，将硅压阻材料的温度特性与有限元仿真软件COMSOL相结合，实现考虑温度影响的压阻式压力传感器的设计，提供全温区压阻式压力传感器的设计方法，为后续有效温补提供重要理论支撑。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 考虑 温度 影响 压阻式 压力传感器 设计 方法 | ||
【主权项】：
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