[发明专利]一种量子级联激光器的制造方法有效
| 申请号： | 202111075989.9 | 申请日： | 2021-09-14 |
| 公开（公告）号： | CN113783107B | 公开（公告）日： | 2022-12-02 |
| 发明（设计）人： | 程洋;庞磊;王俊;万中军;郭银涛 | 申请（专利权）人： | 苏州长光华芯光电技术股份有限公司;苏州长光华芯半导体激光创新研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/34 | 分类号： | H01S5/34;H01S5/22 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 刘林涛 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市苏州高新区昆仑山路189*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种量子级联激光器的制造方法，包括以下步骤：形成脊形外延区，包括自衬底层上依次形成的缓冲层、下波导层、有源层、上波导层和上限制层；脊形外延区具有倾斜侧面，倾斜侧面自衬底层起依次包括缓冲层的侧面、下波导层的侧面、有源层的侧面、上波导层的侧面和上限制层的侧面。对脊形外延区的倾斜侧面进行脱氧处理。其中脱氧处理的步骤包括：使用处理液去除倾斜侧面表面的氧化层。在保护气体的气氛下预加热脊形外延区至第一温度，第一温度低于有源层的材料发生热分解的温度。单独预加热处理气体至第二温度，第二温度大于第一温度。向处于第一温度的脊形外延区通入处于第二温度的处理气体，并维持脊形外延区的温度持续一反应时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 量子 级联 激光器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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