[发明专利]一种固态前驱体源存储升华器

摘要

本发明公开了一种固态前驱体源存储升华器，旨在解决固态前驱体源的挥发升华不稳定，固态前驱体源的利用率低的不足。该发明包括存储筒、安装在存储筒内的若干托盘、托盘依次上下堆叠在一起，托盘内设有若干周向间隔布设的分隔板，相邻两分隔板之间形成用于装载固态前驱体源的储料腔，分隔板上设有通气窗使相邻两储料腔连通，从而在托盘内形成一圈气道；一储料腔内设置隔离板，隔离板将该储料腔分成进气腔和出气腔，下一托盘上的出气腔与上一托盘上的进气腔连通，从而使所有托盘上的气道连通在一起形成通气流道；存储筒上设有载气进口和混合蒸汽出口，载气进口和混合蒸汽出口分别与通气流道的两端连通。