[发明专利]背照式图像传感器及其形成方法

摘要

本发明提供一种背照式图像传感器及其形成方法，所述背照式图像传感器包括若干第一隔离结构，自第一面延伸至半导体衬底内，并具有第一开口自所述第一隔离结构的顶部延伸至所述第一隔离结构内；第一外延层覆盖所述第一开口的侧壁及底部；格栅结构包括上下相连的第一格栅部及第二格栅部。本发明通过低温外延工艺形成的第一外延层，避免了高温工艺对第一隔离结构的影响，所述第一格栅部设于所述第一外延层上，并填充所述第一开口，所述第二格栅部沿所述第一格栅部的顶部延伸且覆盖所述第一开口，彩色滤色片及微透镜嵌设相邻的所述第二格栅部之间，避免串扰效应，提高背照式图像传感器的性能。