[发明专利]一种滤光片镀膜装置及镀膜工艺在审
| 申请号： | 202111067078.1 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN113755807A | 公开（公告）日： | 2021-12-07 |
| 发明（设计）人： | 周毅迪 | 申请（专利权）人： | 苏州龙盛电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/02;C23C14/50;C23C14/56 |
| 代理公司： | 南京常青藤知识产权代理有限公司 32286 | 代理人： | 毛洪梅 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种滤光片镀膜装置及镀膜工艺，装置包括腔室，腔室内安装有溅射发生器以及载具，溅射发生器包括放电电极与定位座，定位座内设有多个定位通道，各定位通道内设置有靶材，定位通道始端连接放电电极，载具包括工作盘、旋转机构以及支座，工作盘上端面设有多个收容腔，各收容腔内设置有基片，工作盘底部设有引流单元，引流单元主要由支撑件与引流件组成，引流件用于通电形成电性引流区域；腔室连接有气体控制单元，气体控制单元用于排空腔室内气体或流通等离子体载荷气体，并监控腔室内压力状态。本发明具有可靠的溅射范围，可提高膜间附着强度，镀膜形成的膜层致密性好，均匀性佳，有利于提高滤光片生产质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 滤光 镀膜 装置 工艺 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州龙盛电子有限公司，未经苏州龙盛电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111067078.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
