[发明专利]研磨用组合物在审
| 申请号： | 202111066252.0 | 申请日： | 2021-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN114250059A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 吉崎幸信;井川裕文 | 申请（专利权）人： | 福吉米株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;C09G1/02;H01L21/02;B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
提供：硅锗的研磨速度充分高、硅锗的研磨速度的选择比充分高的研磨用组合物。一种研磨用组合物，其包含：磨粒、无机盐和氧化剂，前述磨粒的每单位表面积的硅烷醇基数超过0个/nm |
||
| 搜索关键词： | 研磨 组合 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福吉米株式会社，未经福吉米株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202111066252.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于流量控制阀的膨胀套管设备和方法
- 下一篇：具有改进的转子段交错的电机转子
