[发明专利]一种原子力显微镜探针光热激发探测装置在审
| 申请号： | 202111060437.0 | 申请日： | 2021-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN113687107A | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 陶春先;韩朝霞;金涛 | 申请（专利权）人： | 苏州光迈科技有限公司 |
| 主分类号： | G01Q60/38 | 分类号： | G01Q60/38 |
| 代理公司： | 上海邦德专利代理事务所(普通合伙) 31312 | 代理人： | 梁剑 |
| 地址： | 215427 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种原子力显微镜探针光热激发探测装置，包括：集成装置外壳、固定于所述集成装置外壳内的激发激光器、探测激光器及四象限探测器，且所述集成装置外壳上固接有夹持件，所述夹持件上固接有探针；所述激发激光器倾斜固定于集成装置外壳内，所述探测激光器水平设置于集成装置外壳内，且所述激发激光器与探测激光器呈锐角设置；集成装置外壳靠近夹持件位置上设置有物镜，所述物镜在竖直方向位于四象限探测器的下方。根据本发明，实现高效的振动激发，激发与探测一体化的装置，简化了激光光斑调节、探针位置调节的流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 显微镜 探针 光热 激发 探测 装置 | ||
【主权项】：
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