[发明专利]一种链式真空镀膜设备在审
| 申请号： | 202111041719.6 | 申请日： | 2021-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN113802105A | 公开（公告）日： | 2021-12-17 |
| 发明（设计）人： | 刘晓萌 | 申请（专利权）人： | 无锡爱尔华光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/22 |
| 代理公司： | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人： | 顾吉云;黄莹 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种链式真空镀膜设备，其可以防止承载盘形变，同时很容易调整承载板、电极板之间距离，极大的降低了生产成本。其包括承载盘、滚轴、加热器；所述承载盘为水平设置的平板状结构，所述滚轴水平等高地、并行设置在所述承载盘底端面，所述滚轴的滚动方向为所述承载盘的运动方向；所述加热器分别设置于相邻的两个所述滚轴之间的位置；所述加热器底端设置升降结构；两个所述滚轴之间的距离大于所述加热器的宽度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 链式 真空镀膜 设备 | ||
【主权项】：
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