[发明专利]一种基于MEMS芯片的振动和冲击复合传感器在审
| 申请号： | 202111039041.8 | 申请日： | 2021-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN113739908A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 张中祥;李振 | 申请（专利权）人： | 中嵌科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01H17/00 | 分类号： | G01H17/00;G01P15/00 |
| 代理公司： | 北京中和立达知识产权代理事务所(普通合伙) 11756 | 代理人： | 祝妍 |
| 地址： | 100085 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于MEMS芯片的振动和冲击复合传感器，包括基于MEMS振动加速度计单元、带通滤波电路单元、ADC数字采集单元、低噪放信号调理单元和适配IEPE输出电路接口单元，基于MEMS振动加速度计单元用于获取被测设备的冲击特性，实现对被测设备振动加速度信号的检测，同时提供冲击脉冲信号检测；带通滤波电路单元用于对脉冲冲击信号进行围绕共振点进行窄带滤波以抑制带外干扰；ADC数字采集单元用于对包含振动与冲击的加速度模拟信号进行高精度的模数转换；低噪放信号调理单元用于加速度模拟信号的超低噪声处理与低噪信号放大处理；低噪放信号调理单元向适配IEPE输出电路接口单元输出模拟量；适配IEPE输出电路接口单元用于完成加速度模拟信号与IEPE接口转换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 mems 芯片 振动 冲击 复合 传感器 | ||
【主权项】：
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