[发明专利]金属双极板表面过渡金属氮化物与碳复合改性薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202111034382.6 | 申请日： | 2021-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN113937301B | 公开（公告）日： | 2023-03-28 |
| 发明（设计）人： | 李栓;李松;杜军钊;李彤岩;李星国 | 申请（专利权）人： | 北京大学;北京华胜信安电子科技发展有限公司 |
| 主分类号： | H01M4/86 | 分类号： | H01M4/86;H01M4/88;H01M4/96 |
| 代理公司： | 北京康思博达知识产权代理事务所(普通合伙) 11426 | 代理人： | 范国锋;刘冬梅 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： |
本发明公开了金属双极板表面过渡金属氮化物与碳复合改性薄膜及其制备方法，将金属衬底、金属单质靶和石墨靶安装于磁控溅射镀膜机内，在含氮气体和负偏压作用下经溅射制得所述改性薄膜。由于纯碳中sp |
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| 搜索关键词： | 金属 极板 表面 过渡 氮化物 复合 改性 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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