[发明专利]一种MEMS硅基雾化芯及其制造方法在审
| 申请号： | 202111029463.7 | 申请日： | 2021-09-02 |
| 公开（公告）号： | CN113662250A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王敏锐 | 申请（专利权）人： | 美满芯盛（杭州）微电子有限公司 |
| 主分类号： | A24F40/10 | 分类号： | A24F40/10;A24F40/46;A24F40/40;A24F40/42 |
| 代理公司： | 苏州瑞光知识产权代理事务所(普通合伙) 32359 | 代理人： | 罗磊 |
| 地址： | 311231 浙江省杭州市萧山区*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS硅基雾化芯，其包括第一衬底和第二衬底，所述第一衬底上设置有若干雾化孔，所述雾化孔贯穿所述第一衬底，所述第一衬底的一侧设置有横向微流道储液舱，若干所述雾化孔均与所述横向微流道储液舱相连通，所述第一衬底的另一侧设置有金属电极，所述金属电极上连接有电阻丝；所述第二衬底连接在所述第一衬底上，所述第二衬底上设置与若干通孔，所述通孔贯穿所述第二衬底的上下表面，所述通孔连通所述横向微流道储液舱，所述通孔与所述雾化孔错位布置。本发明还公开了一种MEMS硅基雾化芯制造方法。本发明可以解决陶瓷雾化芯多孔孔径不一致，导致加热不均匀、局部过热干烧碳化的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 雾化 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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