[发明专利]一种光子晶体面发射激光器及其制作方法在审
| 申请号： | 202111013504.3 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113745960A | 公开（公告）日： | 2021-12-03 |
| 发明（设计）人： | 徐鹏飞;王文知;王岩;罗帅;季海铭 | 申请（专利权）人： | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/02 | 分类号： | H01S5/02;H01S5/183 |
| 代理公司： | 江苏长德知识产权代理有限公司 32478 | 代理人： | 刘传玉 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种光子晶体面发射激光器及其制作方法，在面发射激光器内以n‑InP为衬底的半导体叠层的区域外，增加同由InP覆层覆盖的无法导通注入电流的阻流区域。其采用金属有机物化学气相沉积法外延生长有源区及波导结构，结合电子束光刻和干法刻蚀制作光子晶体形成激光外延片，通过常规光刻、氧化和刻蚀工艺制作PCSEL激光芯片；通过增加反向PN结来控制注入电流的范围，通过优化光限制因子来减小PCSEL的阈值电流，从而提高PCSEL的参数特性。本发明通过注入电流在反向pn结中无法导通，只能在中间无反向pn结区域导通，达到控制电流分布的目的，其结构简单，操作方便，注入电流的控制效果好，具有很强的实用性和广泛的适用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光子 晶体 发射 激光器 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
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