[发明专利]磁控管阴极组件输送定位线在审
| 申请号： | 202111008915.3 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113707514A | 公开（公告）日： | 2021-11-26 |
| 发明（设计）人： | 殷国辉 | 申请（专利权）人： | 中山市美格电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/18 | 分类号： | H01J9/18;H01J9/48;H01J23/04 |
| 代理公司： | 广州恒华智信知识产权代理事务所(普通合伙) 44299 | 代理人： | 廖金燕 |
| 地址： | 528434 广东省中山*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开一种磁控管阴极组件输送定位线，包括阴极组件工装板、阴极组件输送线、阴极组件返回线和若干定位器；所述阴极组件工装板在所述阴极组件输送线和阴极组件返回线上循环运行，所述定位器设置在所述阴极组件输送线的工艺工位上，用于所述阴极组件工装板在所述阴极组件输送线工艺工位上的定位；所述阴极组件工装板上设有定位夹具，所述定位夹具包括用于定位放置阴极组件的K侧管支撑台阶和位于中心位置的引线孔，所述引线孔为贯穿所述阴极组件工装板厚度方向的通孔。本发明方便进行阴极组件的校正和定位，确保阴极组件能够准确匹配工艺设备的工艺动作，保证阴极组件自动化工艺加工的质量，简化工艺动作，减少产品报废率。 | ||
| 搜索关键词： | 磁控管 阴极 组件 输送 定位 | ||
【主权项】：
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