[发明专利]一种含有氧化铝-碳化硼杂化颗粒的抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 202111008615.5 | 申请日： | 2021-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN113563803A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 雷红;代三威 | 申请（专利权）人： | 昆山捷纳电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 曹利华 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明提供的一种含有氧化铝‑碳化硼杂化颗粒的抛光液制备方法，包含如下步骤：S01：使用超声仪，在去离子水中对六方碳化硼粉末进行超声处理，形成碳化硼纳米片分散液；S02：搅拌下，将所述碳化硼纳米片分散液加入到氧化铝的水悬浮液中，搅拌之后加入1wt.％聚乙二醇(PEG)‑400，将混合液继续搅拌之后再超声分散，在超声作用下，PEG‑400充当碳化硼纳米片和氧化铝之间的桥梁，使氧化铝定向吸附在碳化硼纳米片上，形成吸附分散液；S03：在所述吸附分散液中加入3wt.％的pH调节剂，得到含有氧化铝‑碳化硼杂化颗粒的抛光液。本发明可以减少α‑Al |
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| 搜索关键词： | 一种 含有 氧化铝 碳化 硼杂化 颗粒 抛光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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