[发明专利]恒温控制MEMS陀螺仪有效
| 申请号： | 202111006325.7 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN113639735B | 公开（公告）日： | 2023-04-14 |
| 发明（设计）人： | 吴国强;吴忠烨;贾文涵;韩金钊;陈文;杨尚书 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01C19/5621 | 分类号： | G01C19/5621;H05B3/02 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 肖明洲 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种恒温控制MEMS陀螺仪。MEMES陀螺仪为音叉式陀螺结构，包含固定锚点、加热梁、矩形隔热框、检测框、两个质量块、驱动电极、感应电极、驱动检测电极、若干一级弹性梁、二级弹性梁、三级弹性梁和中心耦合弹性梁。该结构通过加热梁和隔热外框进行电阻加热，通过实时监测MEMS陀螺仪实际温度变化，采用闭环反馈控制电路实时微调加热电流或电压，可以实现MEMS陀螺仪芯片内加热恒温控制功能。所提出的MEMS陀螺仪结构简单，功耗相对较小，能有效提升MEMS陀螺仪的温度稳定性和可靠性。 | ||
| 搜索关键词： | 恒温 控制 mems 陀螺仪 | ||
【主权项】：
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