[发明专利]一种双层LID检出设备在审
申请号: | 202111005696.3 | 申请日: | 2021-08-30 |
公开(公告)号: | CN113654466A | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 向勇 | 申请(专利权)人: | 台晶(重庆)电子有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 重庆智慧之源知识产权代理事务所(普通合伙) 50234 | 代理人: | 余洪;高彬 |
地址: | 401329 *** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本发明涉及石英晶体谐振器制造技术领域,具体是一种双层LID检出设备,包括作业台面,所述作业台面的顶部固定有滑轨固定底座,所述滑轨固定底座的一侧设置有拉取托盘前后电机,所述拉取托盘前后电机的一侧设置有升降机构,穿过方形孔在作业台面的底部设置有Z轴组件,所述Y轴电机的顶部设置有激光测量机构,所述激光测量机构包括激光测高仪,所述作业台面的顶部设置有托盘组件,本发明通过X轴电机固定座将X轴电机固定住,通过Y轴电机固定座将Y轴电机固定住,然后启动X轴电机和Y轴电机控制丝杆转动实现XY方向上的运动,通过激光测高仪器进行Package表面高度量测,将量测差值较大的辨识为不良品检出,杜绝不良品流出,从而减少质量风险。 | ||
搜索关键词: | 一种 双层 lid 检出 设备 | ||
【主权项】:
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