[发明专利]图像获取方法、图像获取装置和晶片检查装置在审
| 申请号： | 202111003805.8 | 申请日： | 2021-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN114113132A | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 禹明勋 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/01 |
| 代理公司： | 上海和跃知识产权代理事务所(普通合伙) 31239 | 代理人： | 尹洪波 |
| 地址： | 韩国忠清南道天*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开一种图像获取方法、图像获取装置和晶片检查装置。线扫描相机设置在晶片传送路径上方以通过对包括传送路径一部分的扫描区域进行成像来连续获取具有预定尺寸的局部图像，并将局部图像存储在图像存储单元中。通过图像分析单元检测局部图像中包括预定特征点的局部图像，图像合并单元将包括检测到局部图像在内的预定数量的局部图像合并以获取晶片的完整图像。图像检查单元分析晶片的完整图像以检测晶片中的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 图像 获取 方法 装置 晶片 检查 | ||
【主权项】：
暂无信息
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