[发明专利]一种探针台小面积温控平台在审
| 申请号： | 202110996962.7 | 申请日： | 2021-08-27 |
| 公开（公告）号： | CN113640640A | 公开（公告）日： | 2021-11-12 |
| 发明（设计）人： | 梁丙生;刘镇岭;王剑斌;严顺 | 申请（专利权）人： | 广州晶合测控技术有限责任公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04;G01R1/02 |
| 代理公司： | 济南宝宸专利代理事务所(普通合伙) 37297 | 代理人： | 荆向勇 |
| 地址： | 510663 广东省广州市高新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种温控平台，特别涉及一种探针台小面积温控平台，包括：第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和第二侧板之间设置有散热器，所述散热器上方设置有制冷片，所述制冷片上方设置有加热片，所述制冷片和加热片都与导热块相接触。使用时，将物品放置在导热块的上方，通过真空吸附气道向外抽气，会在空腔中产生负压，进而通过导热块上的小孔将物品吸附在装置上，使用非常方便，同时，装置的第一侧板通过设置真空吸附气道和凹槽将空腔与外界连通，极大的简化了装置，设计紧凑，成本低，使用效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 面积 温控 平台 | ||
【主权项】：
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