[发明专利]一种基于深度学习的X光高分辨率扫描图像下芯片多余物检测系统及方法在审
| 申请号： | 202110984852.9 | 申请日： | 2021-08-25 |
| 公开（公告）号： | CN113781412A | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 汪俊;花诗燕;李大伟 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G06T7/00 | 分类号： | G06T7/00;G06T7/73;G06K9/46;G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 王路 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于深度学习的X光高分辨率扫描图像下芯片多余物检测系统，包括：CT扫描仪、运算服务器以及数据存储器，CT扫描仪用于扫描整个芯片内部区域，完成数据采集，基于深度学习模型实现多余物的检测与定位，对高分辨率CT扫描图像分区域进行智能化分类，筛选出含缺陷图像进行训练，使多余物的检测更加高效；运算服务器用于X光高分辨率扫描图像下芯片多余物检测所搭建的深度学习模型的运算，实现多余物位置的精确识别；所述数据存储器用于存储与管理数据。本发明的一种基于深度学习的X光高分辨率扫描图像下芯片多余物检测系统可以提取芯片中多余物特征，自动化检测识别多余物，高效准确地进行多余物检测。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 深度 学习 高分辨率 扫描 图像 芯片 多余 检测 系统 方法 | ||
【主权项】：
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