[发明专利]一种基于三维纳米管的气体传感器、制造方法及其应用在审
| 申请号： | 202110977886.5 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN113533454A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 沈国震;陈卓;周清峰 | 申请（专利权）人： | 艾感科技（广东）有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 北京之于行知识产权代理有限公司 11767 | 代理人： | 何志欣 |
| 地址： | 528012 广东省佛山市禅城区环*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种基于三维纳米管的气体传感器、制造方法及应用，所述方法包括：将三维纳米管阵列贯穿阳极氧化铝薄膜并且允许气体从三维纳米管的两端流通，阳极氧化铝薄膜第一表面的第一电极和其第二表面的第二电极之间设置有以三维纳米管为基底且沉积有气敏材料的传感区域，至少一个第一电极与至少一个第二电极构成设置在所述传感区域两端的电极对，其中，所述三维纳米管传感器阵列中的不同传感区域的气敏材料表面设置有不同的金属纳米颗粒修饰，从而一个传感区域具有至少两种气体灵敏度。本发明将结合打线接合技术及上下交叉电极技术，集成三维纳米管阵列，完成上下电极的引出，实现了能够同时探测多种气体的三维纳米管传感器阵列。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 三维 纳米 气体 传感器 制造 方法 及其 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于艾感科技（广东）有限公司，未经艾感科技（广东）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110977886.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：带电磁炉的电暖茶几
- 下一篇：一种胸外科手术胸腔开骨固定装置
