[发明专利]一种MEMS热式麦克风及其实现方法有效
| 申请号： | 202110959816.7 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113613150B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 朱哲政;杨凌濛;杨振川;高成臣;郝一龙 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | H04R19/00 | 分类号： | H04R19/00;H04R19/04 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种MEMS热式麦克风及其实现方法。本发明在衬底上形成背腔，将敏感梁置于背腔上，并在背腔上设置上盖板形成驻波管；声波从驻波管的管口进入至驻波管内，声压变化引起敏感梁上的温度发生扰动；同时，声波入在驻波管的管底即背腔的表面反射形成驻波，驻波管的管底是硬声场边界，保证声粒子振速为零，敏感梁处的声压为驻波管的管口入射声压的两倍，因此敏感梁的温度只与入射声压成正比，不会受到声粒子振速的影响，消除谐波失真；本发明的麦克风结构与热式声粒子振速传感器类似，制造工艺相同，能够在同一个芯片上完成声压和声粒子振速的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 麦克风 及其 实现 方法 | ||
【主权项】：
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