[发明专利]一种支撑板、掩膜板及其制备方法有效
| 申请号： | 202110958537.9 | 申请日： | 2021-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN113604777B | 公开（公告）日： | 2023-04-18 |
| 发明（设计）人： | 白珊珊 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H10K71/16;H10K71/00;B23K26/21 |
| 代理公司： | 北京正理专利代理有限公司 11257 | 代理人： | 李泽彦 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开一种支撑板、掩膜板及其制备方法。在一具体实施方式中，该用于掩膜板的支撑板包括板体，板体包括呈相对设置的第一表面和第二表面以及连接第一表面和第二表面的侧壁；板体还包括至少一个贯穿第一表面和第二表面的镂空区；支撑板还包括自板体的侧壁向外凸起形成的凸出部，凸出部用于与掩膜板的框架连接固定；凸出部的厚度小于板体的厚度。该实施方式的支撑板通过设置凸出部直接与掩膜板的框架连接固定，取代传统的对单条金属掩膜层的拉伸组装工艺，大幅简化张网流程，从而防止现有技术的拉伸工艺中容易发生的金属掩膜层变形、褶皱或破损等不良情况。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 支撑 掩膜板 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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