[发明专利]一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置

摘要

本发明属于大气压低温等离子体应用技术领域，涉及一种测量沿面介质阻挡放电等离子体激励器表面电荷的装置。所述的装置包括上电极、介质板、下电极、交流–脉冲双高压电源和光学系统，所述的上电极为方形铝箔电极，下电极为表面镀膜的氧化铟锡导电玻璃，介质板为嵌有硅酸铋晶体的石英玻璃；上、下电极不对称排布，上电极为暴露电极，下电极的导电层与介质板紧贴充当掩埋电极；上电极与脉冲电源相连，下电极与正弦交流电源连接，正脉冲叠加在交流波谷。本发明通过交流–脉冲双高压驱动的方式，选择性增强了放电的某一阶段，为利用光偏振法分析沿面介质阻挡放电表面电荷演化过程提供了一种途径。