[发明专利]一种单晶炉用外置式吸杂加料方法有效
| 申请号： | 202110940923.5 | 申请日： | 2021-08-17 |
| 公开（公告）号： | CN113584573B | 公开（公告）日： | 2022-12-20 |
| 发明（设计）人： | 陈怀斌 | 申请（专利权）人： | 江苏神汇新型陶瓷材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B15/00;C30B29/06 |
| 代理公司： | 连云港润知专利代理事务所 32255 | 代理人： | 马强 |
| 地址： | 222000 江苏省连云港市东*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种单晶炉用外置式吸杂加料方法，使用安全壳、吸杂罐和加料器；吸杂罐用于放入安全壳对单晶炉进行吸杂操作，加料器用于放入安全壳对单晶炉进行加料操作；安全壳固定于支架上，其一端通过隔离阀与单晶炉主炉室的炉筒或炉盖连接，安全壳的另一端设置有密封盖，根据吸杂加料操作需要与外界隔离或开放；安全壳底部一侧安装有伸缩机构，伸缩机构上设置有固定吸杂罐的结构，并通过自带的轨道安装于安全壳底部，吸杂罐则安装固定在伸缩机构上，由伸缩机构带动可沿着安全壳内固定的轨道前后移动。该装方法能够对单晶炉吸杂、加料操作，既能够增加单晶炉的单炉投料量和拉棒根数，又能降低多次拉棒所引起的晶棒间的质量差异性，大大提高单晶生长质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 单晶炉用 外置 式吸杂 加料 方法 | ||
【主权项】：
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