[发明专利]一种高纯铝靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110935619.1 | 申请日： | 2021-08-16 |
| 公开（公告）号： | CN113652655B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B21J5/00;C22F1/04;C23C18/32 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种高纯铝靶材的制备方法，所述制备方法包括对坯料依次进行第一锻伸处理、第一热处理、第二锻伸处理、第二热处理、压延处理、第三热处理、喷砂处理以及镀镍处理。所述制备方法解决了铝靶材在内部组织以及焊接面表面结构对焊接效果的不良影响，提高了高纯铝靶材与背板的焊接结合率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铝靶材 制备 方法 | ||
【主权项】：
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