[发明专利]涡流侦测装置以及金属层厚度的测量方法在审
| 申请号： | 202110928572.6 | 申请日： | 2021-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN113664712A | 公开（公告）日： | 2021-11-19 |
| 发明（设计）人： | 邢程;孙鹏 | 申请（专利权）人： | 芯盟科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/005 | 分类号： | B24B37/005;B24B49/10;H01L21/66;G01B7/06 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种涡流侦测装置以及金属层厚度的测量方法。所述涡流侦测装置，应用于化学机械研磨机台，所述化学机械研磨机台包括研磨盘，所述涡流侦测装置包括多个涡流探头，所述涡流探头包括中央探头和边缘探头，所述中央探头和边缘探头设置在与研磨盘中心不同距离的位置。本发明通过在研磨盘不同半径处增加涡流探头，收集晶圆边缘金属层厚度用以补偿原有探头边缘监测能力的不足，提高了涡流侦测能力。 | ||
| 搜索关键词： | 涡流 侦测 装置 以及 金属 厚度 测量方法 | ||
【主权项】：
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