[发明专利]自动矫正样品带轴偏离的电子层叠成像方法及装置有效
| 申请号： | 202110914428.7 | 申请日： | 2021-08-10 |
| 公开（公告）号： | CN113720865B | 公开（公告）日： | 2022-09-02 |
| 发明（设计）人： | 于荣;沙浩治;崔吉哲 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01N23/2055 | 分类号： | G01N23/2055 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 张文姣 |
| 地址： | 10008*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动矫正样品带轴偏离的电子层叠成像方法及装置，包括：通过电子束对样品进行扫描，采集样品每个扫描点的衍射图；初始化物函数和电子束函数，构建正向传播模型，计算损失函数；求解损失函数关于物函数、电子束函数和样品倾角等参数的梯度，根据梯度优化待优化参数；重新计算损失函数进行迭代，直至满足迭代终止条件，输出样品偏离正带轴的角度和样品在正带轴下的投影势。该方法和装置解决了层叠成像中样品带轴偏离带来的图像质量降低的问题，能提高图像分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 矫正 样品 偏离 电子 层叠 成像 方法 装置 | ||
【主权项】：
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