[发明专利]一种基于关联随机光子晶体设计的薄膜光电池设计方法在审

专利信息
申请号: 202110907496.0 申请日: 2021-08-09
公开(公告)号: CN113659037A 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 丁贺;彭焰秀;杨健;王涌天 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;H01L31/0445;H01L31/054
代理公司: 北京市中闻律师事务所 11388 代理人: 冯梦洪
地址: 100081 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种基于关联随机光子晶体设计的薄膜光电池设计方法,包括:(1)薄膜太阳能电池组的准备;(2)在C‑Si层的顶部绘制二维光子晶体结构,计算整个堆栈的吸收;(3)对二维光子晶体结构的参数选择优化;(4)利用微扰方法引入关联的无序结构;(5)采用非偏振光在正入射时模拟太阳照明,用严格耦合波分析方法研究伪无序晶体结构的吸收性能,确定使吸收净增加的设计准则;(6)随机生成不同无序结构;(7)形成伪无序纳米图案;(8)使用CHF3反应离子蚀刻,将有机玻璃转移到SiO2层;(9)使用SF6:Ar混合物将有机玻璃转移到C‑Si层;(10)用连续的铟锡氧化物层覆盖图案C‑Si层,作为薄膜太阳能电池的透明前端电极;(11)利用微观反射率装置测定薄膜的吸收。
搜索关键词: 一种 基于 关联 随机 光子 晶体 设计 薄膜 光电池 方法
【主权项】:
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