[发明专利]一种具有强去污能力的单晶硅制绒添加剂及应用在审
| 申请号： | 202110900934.0 | 申请日： | 2021-08-06 |
| 公开（公告）号： | CN113584597A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 李海;丁俊勇;周树伟;张丽娟;陈培良 | 申请（专利权）人： | 常州时创能源股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具有强去污能力的单晶硅制绒添加剂及应用，所述制绒添加剂包括以下质量百分比含量的各组分：第一表面活性剂1%~6%，第二表面活性剂2%~5%，醚类脱泡剂3%~5%，成核剂0.5%~3%，助溶剂1%~2%，螯合剂0~0.1%，余量为去离子水。本发明开发了一种新型的具有强去污能力的单晶硅制绒添加剂，并非常规表面活性剂需要达到一定浓度才能具备包裹效果，不受临界胶束浓度大小的限制，大大提高了制绒添加剂的去污效果，提高了制绒后硅片表面的洁净度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 去污 能力 单晶硅 添加剂 应用 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于常州时创能源股份有限公司，未经常州时创能源股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110900934.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
