[发明专利]一种基于微流控技术的微透镜阵列制作方法有效
| 申请号： | 202110882513.X | 申请日： | 2021-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN113608286B | 公开（公告）日： | 2022-12-06 |
| 发明（设计）人： | 金建;王旭迪;邸思;林文豫;孙学通 | 申请（专利权）人： | 合肥工业大学 |
| 主分类号： | G02B3/00 | 分类号： | G02B3/00 |
| 代理公司： | 安徽省合肥新安专利代理有限责任公司 34101 | 代理人： | 何梅生 |
| 地址： | 230009 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基于微流控技术的微透镜阵列制作方法，其特征在于将微流控技术用于微透镜阵列的制作上，通过向具有小孔阵列的微流控芯片中注入水，并在水压力的作用下使得超薄PDMS变形，并利用PUA与PDMS的相互复制工艺，实现微透镜阵列的制作，实施步骤中，通过巧妙的模具设计和工艺设计，实现了超薄PDMS的制作，不仅使得超薄PDMS的键合工艺得以顺利进行，该工艺还可以形成一个模具槽结构，方便了后续倒模工艺的进行。本发明通过改变玻璃层多孔阵列的孔径大小，可以制作不同尺寸的微透镜阵列，通过控制微流控芯片内部水压，可以控制制作的微透镜高度，从而调节焦距；制作的微流控芯片可以重复使用，从而实现成本的降低和制作效率的提高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微流控 技术 透镜 阵列 制作方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于合肥工业大学，未经合肥工业大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110882513.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
