[发明专利]仿蝶翅鳞片凹坑结构的敏感元件、制备方法及湿度传感器在审
| 申请号： | 202110874574.1 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113567432A | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 牛士超;薛浩;韩志武;周亮;丁汉良;迟德强;陈友;李博;刘德雷 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01N21/81 | 分类号： | G01N21/81 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 龙涛 |
| 地址： | 130000 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种仿蝶翅鳞片凹坑结构的敏感元件、制备方法及湿度传感器，属于湿度传感器技术领域，其包括基膜，基膜的表面具有规则排布的反蛋白石多层结构；反蛋白石多层结构为若干紧密排列或等间距排列的凹坑；凹坑内部具有TiO |
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| 搜索关键词： | 仿蝶翅 鳞片 结构 敏感 元件 制备 方法 湿度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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