[发明专利]基于锡氧化物和贵金属双纳米粒子点阵氢气传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202110870742.X | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113791123A | 公开（公告）日： | 2021-12-14 |
| 发明（设计）人： | 谢波;刘伊妮;胡军 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 黄美娟;朱思兰 |
| 地址： | 310014 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于锡氧化物和贵金属双纳米粒子点阵氢气传感器及其制备方法，所述氢气传感器包括：双纳米粒子点阵氢气气敏膜、嵌有金属微电极的石英玻璃基片、电导测量外电路；本发明采用磁控等离子体聚集法将贵金属和锡纳米粒子沉积到嵌有金属微电极的石英玻璃基片表面，组成双纳米粒子点阵氢气气敏膜，氢气气敏膜由锡氧化物纳米粒子点阵和贵金属纳米粒子点阵组成，并且贵金属纳米粒子点阵高度分散于锡氧化物纳米粒子点阵体系中；本发明制备的氢气传感器在检测氢气时，具有响应速度快、选择性高、工作温度低等优点，纳米粒子点阵所组装的氢气气敏膜具有高比表面积，高灵敏的感氢能力，检测氢气的灵敏度和选择性优异。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 氧化物 贵金属 纳米 粒子 点阵 氢气 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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