[发明专利]一种新型微流量气体质量流量控制器在审
| 申请号: | 202110870440.2 | 申请日: | 2021-07-30 |
| 公开(公告)号: | CN113741558A | 公开(公告)日: | 2021-12-03 |
| 发明(设计)人: | 席鹏;吴永刚;陈雪菲 | 申请(专利权)人: | 武汉奥智博科技有限公司 |
| 主分类号: | G05D7/06 | 分类号: | G05D7/06 |
| 代理公司: | 上海精晟知识产权代理有限公司 31253 | 代理人: | 黄小灵 |
| 地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区流芳大*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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| 摘要: | 本发明属于公开了一种新型微流量气体质量流量控制器,包括流量计本体,所述流量计本体的顶壁连接有电源接口,所述流量计本体的背部安装有信号收发器,所述流量计本体的侧壁由上至下依次连接有串口和阀门接口,所述阀门接口靠近流量计本体的外圆周壁连接有微流量控制组件,所述微流量控制组件包括立筒,具体涉及新型气体质量流量控制器技术领域。该新型微流量气体质量流量控制器,通过设置有微流量控制组件,由于丝杠与轴承转动连接,且球体通过导杆与套筒连接,套筒套设在丝杠外部,故在电机驱动时,丝杠会受电机影响有转动的趋势,此时球体与导杆自由度受限,丝杠将带动轴承和电机沿着块槽方向运动。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 新型 流量 气体 质量 控制器 | ||
【主权项】:
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