[发明专利]基于SOI埋氧层牺牲释放技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110868102.5 | 申请日： | 2021-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN113731779B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 王任鑫;张文栋;王智豪;秦芸;张国军;何常德;王红亮;杨玉华;崔建功 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | B06B1/02 | 分类号： | B06B1/02;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 太原倍智知识产权代理事务所(普通合伙) 14111 | 代理人： | 张宏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明为一种基于SOI埋氧层牺牲释放技术的电容式微机械超声换能器及其制备方法，属于MEMS技术领域。该换能器包括圆形的SOI片，SOI片的正面沉积有金属上电极、背面沉积有金属下电极，SOI片的器件层和埋氧层部分设有SiC边缘支撑，SOI片的埋氧层上设有密封真空电容腔，SOI片正面的金属上电极上沉积有Parylene‑C密封层。本发明换能器的空腔结构形状规则，空腔边缘和高度均匀可控，其具有尺寸小、功耗低以及与周围介质具有固有的阻抗匹配等优点，通过沉积Parylene‑C封装起到防水的作用且具有较好的透声能力。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 soi 埋氧层 牺牲 释放 技术 电容 式微 机械 超声 换能器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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