[发明专利]芯片测试机有效
| 申请号： | 202110856380.9 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113533938B | 公开（公告）日： | 2022-02-18 |
| 发明（设计）人： | 黄建军;吴永红;赵山;胡海洋 | 申请（专利权）人： | 苏州联讯仪器有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R1/04;G01R1/067;G01R1/073 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 215011 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开一种芯片测试机，基板、安装于基板上表面的测试台、安装于基板外侧的驱动支架和安装于驱动支架上并位于测试台上方的测试探针组件，所述测试探针组件包括：与驱动支架连接的本体、支撑板、用于与待测试芯片接触的探针和动点接触探头，所述支撑板一端安装有一悬臂，另一端安装有所述动点接触探头，所述本体下端面一侧设置有一位于动点接触探头上部并与其对应的静点接触探头，所述悬臂远离支撑板一端固定有一安装有所述探针的探针座；位于第一销轴右侧的支撑板部分、悬臂、探针座和探针的质心力矩大于位于第一销轴左侧的支撑板剩余部分、动点接触探头的质心力矩。本发明提高了检测数据的稳定性、重复性、可比较性和一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 芯片 测试 | ||
【主权项】：
暂无信息
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