[发明专利]考虑热力载荷平衡的坐标测量仪器有效

专利信息
申请号: 202110839684.4 申请日: 2021-07-23
公开(公告)号: CN113432534B 公开(公告)日: 2023-05-23
发明(设计)人: 张和君;陈源;廖学文;章智伟;冯福荣;张琥杰 申请(专利权)人: 深圳市中图仪器股份有限公司
主分类号: G01B11/00 分类号: G01B11/00;G01C15/00
代理公司: 深圳舍穆专利代理事务所(特殊普通合伙) 44398 代理人: 邱爽
地址: 518000 广东省深圳市南山区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 一种考虑热力载荷平衡的坐标测量仪器,其包括:基座、光学机构、热平衡模块、控制机构,光学机构包括以第一轴线旋转的第一旋转装置、具有第二轴线的第二旋转装置以及安装于第二旋转装置的光学主体,第一轴线并与第二轴线正交,第二旋转装置包括第一支承部、第二支承部以及可旋转地设置在第一支承部与第二支承部之间的第二旋转轴,光学主体安装于第二旋转轴,在光学主体内以使第二旋转装置的重心位于第二轴线的方式至少设置有第一载荷单元和第二载荷单元,热平衡模块包括布置在光学机构内的多个加热模块、布置在光学机构内并用于测量光学机构内的温度的多个监测模块、以及根据由多个监测模块获得的温度来控制多个加热模块的温控模块。
搜索关键词: 考虑 热力 载荷 平衡 坐标 测量 仪器
【主权项】:
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