[发明专利]衬底上机械应力感测与补偿在审
| 申请号： | 202110815461.4 | 申请日： | 2021-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN113945308A | 公开（公告）日： | 2022-01-18 |
| 发明（设计）人： | U·努尔梅托夫;R·P·布里德劳;B·哈龙;J·A·V·福尔门蒂;M·石泽龙;T·B·弗利兹 | 申请（专利权）人： | 德克萨斯仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 徐东升 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请公开衬底上机械应力感测与补偿。在所描述的示例中，一种电路500包括模拟前端403，模拟前端403被布置成响应于待补偿模拟信号和第一轴应力感测信号(例如，Vsense_x)生成模拟应力补偿信号。模拟前端403可以包括第一精密部件(例如，Rsense_xa)和方向应力传感器440，该第一精密部件被布置在压电材料501上并且被布置成生成受施加在压电材料501中的应力影响的(例如，来自510的)待补偿模拟信号，该方向应力传感器440被布置在压电材料501上并且耦合到第一精密部件。方向应力传感器440被布置成响应于施加在压电材料501中的应力的纵向合力而生成第一轴感测信号。补偿电路520被布置成响应于补偿模拟信号和待补偿模拟信号而生成补偿输出信号。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 机械 应力 补偿 | ||
【主权项】：
暂无信息
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