[发明专利]一种生成类平顶矩形光斑反射式匀化镜及匀化系统

摘要

本发明公开了一种生成类平顶矩形光斑反射式匀化镜及匀化系统，属于激光加工领域。一种生成类平顶矩形光斑反射式匀化镜，包括：镜体和反射镜面，反射镜面包括左右两个旋转曲面组，旋转曲面组与工作面之间的距离fw、旋转曲面组距离各自旋转轴的垂直距离hl和hr、左右旋转轴离两旋转曲面组中轴线的距离dl和dr满足关系：和时，可在类均匀方向上获得类均匀光斑，其中，Dl为入射光在反射镜面上的左半宽，Dr为入射光在反射镜面上的右半宽。在类均匀方向上的光斑边沿陡峭下降，能大幅降低高斯分布造成的虚光影响，有效提高对高斯光束边沿能量的利用率，适用面更广。本发明的装置可以采用高精密旋转车床加工，不需要价格昂贵的高精密自由曲面加工机床，可降低加工成本。