[发明专利]高精度六自由度光学组件性能测试方法有效
| 申请号: | 202110808487.6 | 申请日: | 2021-07-16 |
| 公开(公告)号: | CN113551881B | 公开(公告)日: | 2023-02-10 |
| 发明(设计)人: | 毕然;王辉;李渊明;金春水 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
| 代理公司: | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人: | 魏毅宏 |
| 地址: | 130033 吉林省长春*** | 国省代码: | 吉林;22 |
| 权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
| 摘要: | 本发明涉及一种高精度六自由度光学组件性能测试方法,包括:安装性能测试软件,并进行调试,以确保性能测试软件正常工作;使用安装的所述性能测试软件,进行高精度六自由度光学组件的行程测试;使用安装的所述性能测试软件,进行高精度六自由度光学组件的分辨率测试;使用安装的所述性能测试软件,进行高精度六自由度光学组件的稳定性测试。本发明能够在光学组件已经装配入复杂系统内部的情况下进行有效的性能测试。 | ||
| 搜索关键词: | 高精度 自由度 光学 组件 性能 测试 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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