[发明专利]一种系统级封装方法及封装结构在审
| 申请号： | 202110807600.9 | 申请日： | 2021-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN113539848A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 蔺光磊 | 申请（专利权）人： | 芯知微（上海）电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/50 | 分类号： | H01L21/50;H01L21/60;H01L23/488;H01L25/16 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种系统级封装方法及封装结构，封装方法包括：提供器件晶圆，器件晶圆包括相对的第一表面和第二表面，器件晶圆内包含若干个待封装芯片，待封装芯片具有暴露出第一表面的焊垫；提供封盖基板，封盖基板具有若干个导电互连结构，且下表面暴露出导电互连结构的第一外部连接端；在焊垫上或在导电互连结构的第一外部连接端上形成导电凸块；将封盖基板与器件晶圆的第一表面键合，并使导电互连结构的第一外部连接端和焊垫通过导电凸块电连接。本发明在器件晶圆和封盖基板之间形成导电凸块用以电连接待封装芯片和导电互连结构，代替了现有封装工艺中通过硅通孔实现导电连接，降低封装成本，提高封装效率，以及缩小封装尺寸。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 系统 封装 方法 结构 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
